超临界干燥是一种以^和可控的方式去除液体的过程，其具体的干燥过程如下：
  
  当液体中的物质穿过液体到气体的边界时，液体以有限的速率变成气体，而液体的量减少，当这种情况发生在异质环境中时，液体中的表面张力会拉动液体可能与之接触的任何固体结构。细胞壁，硅胶中的枝晶和微机电装置的微小机械等精密结构，随着液-气-固结的移动，往往会被这种表面张力破坏。
  
  为了避免这种情况，可以通过两个可能的从液相到气相的备用路径引入样品，而不会在相图上穿过液-气边界。在冷冻干燥中，这意味着向左转。然而，即使通过固-气边界，一些结构也被破坏。
  
  另一方面，超临界干燥在高温高压侧向右转，这种从液体到气体的路线不会穿过任何相界，而是穿过超临界区域，在那里气体和液体之间的区别不再适用，在干燥的临界点，液相和气相的密度变得相等。